SH200-A热阴极电离真空计/真空计ULVAC爱发科合肥栗山胡181-0560-8873
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SH200-A热阴极电离真空计/真空计ULVAC爱发科合肥栗山胡181-0560-8873
这是一个新Model的传感器类型 "Model:G-TRAN复合电离真空计",可以实现不同的测
量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念,但进行了改进,更加人性化。
特点
可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据
小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。
操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。
更强大的产品阵容:除模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。
灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~5×10-8Pa)(选配SWU10-R的情况下)。
可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。
用途
用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控,包括半导体和电子元件。
用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量,例如in-line式和枚叶式
高真空・超高真空设备的压力测量


日本ULVAC爱发科油雾过滤器TMX-1合肥栗山胡181-0560-8873