W-357-1MQG-SKC石英振动式超声波清洗机HONDA本多合肥栗山胡181-0560-8873
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一、产品规格
W-357-1MQG-SKC 是日本 HONDA 本多推出的高频石英振动式超声波清洗机,专为半导体等精密领域设计,核心规格如下:
振荡核心参数:振荡模式为单频振荡,标称振荡频率 1MHz,额定输出 12W,输出可变范围 0W~12W(空气吹扫冷却振动器时,可连续 10W 运行)。
电气与环境:电源输入为 AC100V-240V 单相 50/60Hz,功耗 300VA;使用环境要求温度 15~35℃、湿度 10~85%。
结构与尺寸:振荡器外部尺寸(W×D×H)180×250×100mm(不含突出部分,含橡胶脚),质量 2.2kg;振动体喷嘴总长度 159mm,卡盘部分尺寸 φ24mm,照射面积 24㎠,质量 600g。
控制与接口:外部驱动接点中,超声波振荡控制(控制侧)接点输入为 DC12V 16mA 以上,警报输出(主机)接点容量为 DC24V。
二、产品使用方向
该清洗机依托 1MHz 高频超声波与石英振动体的特性,主打低损伤、高洁净度清洗,核心应用场景集中在半导体及精密电子领域:
半导体晶圆清洗:去除晶圆表面抗蚀剂残留物、磨边后 / 灰化后聚合物、CMP 后残留杂质,以及栅电极表面污染物,避免传统清洗方式对精细图案造成损伤。
精密掩模清洁:针对光刻掩模等高精度光学元件,清除表面微尘、化学残留,保障掩模成像精度,且石英材质接触件无橡胶溶出污染风险。
微纳器件处理:适用于 MEMS 器件、微型传感器等精密组件,利用高频超声波的微空化效应,清洁微小缝隙与复杂结构中的顽固污渍,同时保护器件脆弱结构。
科研实验应用:在材料科学、微电子等实验室中,用于样品表面精细清洁、颗粒分散等辅助操作,满足高纯度、低损伤的实验要求。

HONDA本多流水式超声波清洗器/超声波清洗机W-357-1MPG合肥栗山胡181-0560-8873