SIMCO-ION思美高离子风棒5630
SIMCO-ION思美高离子风棒5630
SIMCO-ION思美高离子风棒5630
SIMCO-ION 5630 是面向半导体 / FPD 的气辅离子风棒,采用 MP 调制脉冲技术,24V 低压供电,洁净度 ISO 14644-1 Class 4,离子平衡 ±25V,消散时间<1s,适配 150–2000mm 宽范围除静电,兼容 5500/5520/5580 控制器。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | 5630(配 5500/5520/5580 控制器) |
| 技术 | MP 调制脉冲电晕,低摆幅,长清洁周期 |
| 输入 | 24 VDC ±10%,低功耗 |
| 输出 | 约 13 kV p-p(可调) |
| 工作距离 | 150–2000 mm,宽范围适配 |
| 离子平衡 | ±25 V(典型) |
| 消散时间 | <1 s(1000→100 V,150 mm) |
| 发射极 | 钛金属,QTC27 TurboJet 风嘴 |
| 针间距 | 50 mm(450/600 mm);75 mm(≥850 mm) |
| 气源 | CDA / 氮气,≤4 L/min/ 孔 |
| 洁净等级 | ISO 14644-1 Class 4 |
| 臭氧 | <0.05 ppm |
| 接口 | RJ45,支持报警输出 |
| 尺寸 | 按需定制,最长 2350 mm |
| 重量 | 依长度而定 |
半导体:晶圆传送、光刻 / 蚀刻 / 沉积腔室、狭缝近距除静电。
平板显示:FPD 基板、光罩 / 掩模、装卸盒。
电子:PCB/FPC、光学组件、精密装配线。
SIMCO-ION思美高离子风棒 91-5710A-500-50-03杨:181-0560-8753