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SIMCO-ION思美高离子风棒5630杨:181-0560-8753

SIMCO-ION思美高离子风棒5630杨:181-0560-8753

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简介

SIMCO-ION思美高离子风棒5630SIMCO-ION思美高离子风棒5630SIMCO-ION思美高离子风棒5630SIMCO-ION 5630 是面向半导体 / FPD 的气辅离子风棒,采用 MP 调制脉冲技术,24V 低压供电,洁净度 ISO 14644-1 Class 4,离子平衡 25V,消散时间<1s,适配 150–2000mm 宽范围除静电…

产品详情

SIMCO-ION思美高离子风棒5630

SIMCO-ION思美高离子风棒5630

SIMCO-ION思美高离子风棒5630

SIMCO-ION 5630 是面向半导体 / FPD 的气辅离子风棒,采用 MP 调制脉冲技术,24V 低压供电,洁净度 ISO 14644-1 Class 4,离子平衡 ±25V,消散时间<1s,适配 150–2000mm 宽范围除静电,兼容 5500/5520/5580 控制器。

核心参数

项目参数
型号5630(配 5500/5520/5580 控制器)
技术MP 调制脉冲电晕,低摆幅,长清洁周期
输入24 VDC ±10%,低功耗
输出约 13 kV p-p(可调)
工作距离150–2000 mm,宽范围适配
离子平衡±25 V(典型)
消散时间<1 s(1000→100 V,150 mm)
发射极钛金属,QTC27 TurboJet 风嘴
针间距50 mm(450/600 mm);75 mm(≥850 mm)
气源CDA / 氮气,≤4 L/min/ 孔
洁净等级ISO 14644-1 Class 4
臭氧<0.05 ppm
接口RJ45,支持报警输出
尺寸按需定制,最长 2350 mm
重量依长度而定

应用

  • 半导体:晶圆传送、光刻 / 蚀刻 / 沉积腔室、狭缝近距除静电。

  • 平板显示:FPD 基板、光罩 / 掩模、装卸盒。

  • 电子:PCB/FPC、光学组件、精密装配线。


SIMCO-ION思美高离子发生器F164J杨:181-0560-8753
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SIMCO-ION思美高离子发生器F164J杨:181-0560-8753
SIMCO-ION思美高离子风棒 91-5710A-500-50-03杨:181-0560-8753
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SIMCO-ION思美高离子风棒 91-5710A-500-50-03杨:181-0560-8753