日本USHIO牛尾照度计探头VUV-S172合肥栗山胡181-0560-8873
日本USHIO牛尾照度计探头VUV-S172合肥栗山胡181-0560-8873
日本USHIO牛尾照度计探头VUV-S172合肥栗山胡181-0560-8873
製品概要
UIT‑250 シリーズ用の真空紫外線(VUV)専用受光器で、172nm エキシマ光の照度・積算光量測定に特化したセンサーユニットです。特殊な光学設計により、150–400nm の広帯域から 172nm を高精度に選択測定し、エキシマランプのプロセス管理に最適です。
主な特長
波長特性:感度波長域 150–400nm、中心波長 172nm、半値全幅 14nm(エキシマ光専用)
受光径:φ4mm(標準スポット測定)
セパレート設計:ケーブル分離型で、高温・密閉環境での測定に適応
高精度:リニアリティ良好、温度補償済み
互換性:UIT‑250 本体と完全互換、照度・ピーク照度・積算光量・温度測定に対応
用途特化:172nm エキシマランプ(表面改質・洗浄・接着性向上)のプロセス管理に最適主な用途
172nm エキシマランプによるプラスチック・ガラス・シリコンウェハの表面改質工程管理
半導体・FPD 製造におけるVUV 洗浄・親水化処理の照度モニタリング


JCR12V100WBA日本USHIO牛尾卤素光源灯合肥栗山胡181-0560-8873