拧紧压接类泵类 ULVAC爱发科真空计测定子WP-16合肥栗山胡181-0560-8873

ULVAC爱发科真空计测定子WP-16合肥栗山胡181-0560-8873

ULVAC爱发科真空计测定子WP-16

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简介

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产品详情

ULVAC爱发科真空计测定子WP-16合肥栗山胡181-0560-8873

アルバック（ULVAC）ピラニ真空計測定子 WP-16（NW16 フランジ仕様）

製品概要

定温度型ピラニ真空計の測定子（センサヘッド）で、気体分子の熱伝導を利用して低真空領域の圧力を高精度に測定します。GP シリーズ（GP-1G、GP-1000G、GP-2001G）や G-TRAN シリーズ SP1 ユニット、SPU ピラニユニットと完全互換性があり、消耗品として簡単に交換可能です。フィラメントに耐久性に優れた ** 白金（Pt）** を採用し、大気圧暴露時も高い耐性を持ちます。

主な仕様

測定範囲：0.4 Pa ～ 2700/3000 Pa（コントローラにより若干異なる）

取合いフランジ：NW16（ISO-KF16）

フィラメント材質：白金（Pt）

質量：45 g

寸法：全長約 220 mm

精度：

±15%（51 Pa ～ 760 Pa）

±30%（10 Pa ～ 1000 Pa、51–760 Pa を除く）

±50%（0.4 Pa ～ 2700 Pa、10–1000 Pa を除く）

用途例

半導体・FPD 製造装置の粗引き真空系圧力モニタ