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HONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKC杨：181-0560-8753
简介
HONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKCHONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKCHONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKC特点对微细化图案的晶圆进行低损伤清洗■将超声波叠加到石英振子上，对半导体晶圆进行清洗通过石英振子经药液向半导体晶圆传递超声波振动，使接触部位的药液…
产品详情
HONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKC
HONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKC
HONDA本多超声波清洗机W-357-1MQG-SKC
特点
对微细化图案的晶圆进行低损伤清洗
■将超声波叠加到石英振子上，对半导体晶圆进行清洗
通过石英振子经药液向半导体晶圆传递超声波振动，使接触部位的药液产生振动，利用其加速度去除表面污垢。
■实现对半导体晶圆损伤小、洁净的清洗
通过在与药液接触的部位使用石英，与使用橡胶垫圈等橡胶材料的装置相比，可避免橡胶溶出和磨损，实现洁净的清洗。
■具备振荡器冷却功能，通过气体（如氮气）冷却振荡器，可实现无频率波动的稳定连续运行。
此外，冷却功能可避免剧烈的温度变化，从而延长使用寿命。
用途
光刻胶残留物去除
刻蚀后、组装后的聚合物去除
栅极电极清洗
CMP后的清洗
●输出可变范围：0W～12W （振子允许输入：使用振子冷却的空气吹扫时为连续10W)
●使用周囲環境：温度：15～35℃、湿度：10～85%
●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御(制御側)接点入力：DC12V 16mA以上
警報用出力(本器)接点容量：DC24V 0.5A
■附属电缆：电源线(AC100V/2m或AC200V 2.4m可选)、控制线(5m)×4
¥0.00
HONDA本多超声波清洗机W-357LM-580杨：181-0560-8753¥0.00
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