FUJIKIN富士金FPR-91-12.7#A自动隔膜阀合肥栗山181/0560/8873
FUJIKIN富士金FPR-91-12.7#A自动隔膜阀合肥栗山181/0560/8873
FUJIKIN富士金FPR-91-12.7#A自动隔膜阀合肥栗山181/0560/8873
FPR-91-12.7#A 是日本富士金(FUJIKIN)生产的高洁净级气动波纹管截止阀(常称自动隔膜阀),专为半导体、光伏、面板、特种气体、真空等高纯度流体控制场景设计,具备超低泄漏、长寿命、高清洁度特性。
连接口径12.7mm(1/2" OD)
连接方式双压缩环式(F900 接头)
阀体材质SUS316L 不锈钢
隔膜 / 波纹管镍钴合金(金属隔膜)
阀座材质 标准 PCTFE,可选 PA(PFA)/PI
最大工作压力1.0 MPa
气动驱动压力0.45~0.60 MPa
使用温度范围-10℃ ~ +80℃(换 PA/PI 阀座可达约 200℃)
流量系数(Cv)约 0.8
有效截面积约 11.99 mm²
泄漏等级外部 / 阀座泄漏 ≤5×10^-12 Pa・m³/s(氦检)
使用寿命可达 3000 万次以上
表面处理流体接触部标准 EP 级,可选 UP 级
适用介质
超高纯气体(O₂、N₂、Ar、SiH₄、NH₃、特殊工艺气体等)
腐蚀性气体与化学品
高真空 / 低压流体系统
去离子水(DI Water)等超洁净液体

日本SAKAI酒井UA-40C-10x14联轴器合肥栗山胡181/0560/8873