新宇宙 New COSMOS可燃气体检测仪XP-703DⅢ
新宇宙 New COSMOS可燃气体检测仪XP-703DⅢ
新宇宙 New COSMOS可燃气体检测仪XP-703DⅢ
日本新宇宙 cosmos XP-703DⅢ 半导体材料气体检测器,半导体材料气体检测。检测对象:H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3。检测浓度:1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm。检测原理:热线型半导体式。采样方式:自动吸引式。应用行业:半导体制造。
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● 适合氢气相关设备的安全防护
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
| 型号 | XP-703D Ⅲ | ||||
| 检测对象气体 | 半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气) | ||||
| 检测原理 | 热线型半导体式 | ||||
| 采样方式 | 自动吸引式 | ||||
| 检测气体 | 砷烷 | 磷化氢 | 乙硼烷 | 硅烷 | 氢气 |
| AsH₃ | PH₃ | B₂H⁶ | SiH⁴ | H₂ | |
| 可检测泄漏量 [Pa・m3/s] | 2.53×10⁻⁷ | 1.52×10⁻⁷ | 1.01×10⁻⁷ | 2.53×10⁻⁷ | 5.07×10⁻⁷ |
| 可检测浓度[ppm] | 0.5 | 0.3 | 0.2 | 0.5 | 1.0 |
| 反应时间 | 10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为[4]) | ||||
| 报警方式 | 发出断断续续的声音及报警灯闪烁 | ||||
| 电源 | 5 号碱性干电池(LR6)2 节 | ||||
| 电池使用时间 ※1 | 约 12 小时(5 号碱性干电池)[ 在常温·常湿条件下 ] | ||||
| 保护等级 ※2 | IP22 相当 ※3 | ||||
| 使用温湿度范围 | 0℃~ 40℃、85%RH 以下(无结露现象) | ||||
| 外形尺寸 | W38×H130×D32 ㎜(突出部份除外) | ||||
| 重量 | 约 190g(包含电池、皮套) | ||||
| 标配附件 | 皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、 5 号碱性干电池 2 节等 | ||||
| ※1.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同。 ※2.安装皮套时。 ※3.IP22相当是指机器内部危险场所附近所对应的保护构造(IP2X)、与垂直方向呈15° 范围内掉落的水滴不会引起机器内部异常的防浸水构造(IPX2)。 | |||||