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RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器杨：181－0560－8753
简介
RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器一、基础核心参数检测对象：硅烷（SiH₄，硅化氢）特种有毒工艺气体检测原理：三电极电化学安培式感应原理测量量程：0～15ppm分辨率：满量程的 1%测量精度：取读数 10% 或满量程…
产品详情
RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器
RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器
RIKEN 理研 ESU-23DH硅烷传感器
一、基础核心参数
检测对象：硅烷（SiH₄，硅化氢）特种有毒工艺气体
检测原理：三电极电化学安培式感应原理
测量量程：0～15ppm
分辨率：满量程的 1%
测量精度：取读数 ±10% 或满量程 ±5% 两者中较大值
重复性：读数 ±5%
响应速度：T90≤90 秒（20℃标准环境、满量程浓度通入条件）
工作温度区间：-20℃～+45℃
工作湿度条件：相对湿度 10%～95% RH，不可凝露
预期使用寿命：正常工况 2～3 年
配套输出匹配：适配主机转换输出标准 4～20mA 模拟电流信号
结构防护：一体式模块化结构，前端配置防尘透气滤膜，适配泵吸式气路采样监测
安装形式：直插式模块化插拔结构，对应固定式气体检测仪主机快速替换装配
二、抗干扰特性
存在交叉干扰气体，包含氨气、砷烷、乙硼烷、乙硅烷、锗烷、氢气、一氧化碳、氯气、丙酮、二氧化碳等，在高浓度共存环境下会产生微量测量偏移。
三、适配工况与功能特点
适配工业现场 24 小时连续在线泄漏监测，内置基础零点稳定电路，长期运行漂移量小；支持主机探头故障自检，进气堵塞、电极老化失效时可联动主机上报故障信号；统一标准化接口，同系列检测仪仅更换传感探头即可切换不同检测气体种类，设备运维便捷。
四、应用场景
多用于半导体晶圆制程、光伏电池片生产、外延工艺车间，部署于硅烷钢瓶存放区、气体管路阀门、反应腔体周边，实时微量泄漏监测，超标后联动声光报警、气源联锁切断，防范自燃、中毒、爆炸安全隐患。
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KOGANEI小金井气缸钢带ORV25X1030杨：181－0560－8753¥0.00
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