日本RIKEN理研ESU-23DH工业气体检测仪181/0560/8873
日本RIKEN理研ESU-23DH工业气体检测仪181/0560/8873
日本RIKEN理研ESU-23DH工业气体检测仪181/0560/8873
品牌:RIKEN KEIKI 理研计器(日本专业工业气体检测厂商)
产品类型:GD-70D 系列固定式气体变送器专用替换传感探头,分两种主流检测规格:硅烷 SiH₄、过氧化氢 H₂O₂,半导体 / 光伏行业标配配件。
核心规格
硅烷 SiH₄款(标准 ESU-23DH)
检测量程:0~15ppm
报警阈值:一级 5ppm、二级 10ppm
检测原理:半导体式,T90 响应<30s
过氧化氢款(ESU-23DH-H₂O₂)
检测量程:0~3ppm,用于消毒、晶圆清洗工序监测
通用参数
供电:DC24V,功耗低
信号输出:适配 GD-70D 主机 4-20mA 标准模拟远传
防护:探头本体防尘,适配管道抽气式采样
使用寿命:原厂传感器常规 2 年,工况洁净可延长至 3 年
典型应用场景
半导体芯片、LED 制造(硅烷供气柜、沉积设备泄漏监测)
光伏电池生产线、薄膜工艺车间
医疗 / 制药过氧化氢消毒工段、电子特种气体储存区
日本STS立式激光准直仪OLP-2详询181*0560*8873