KOHZU神津精机SXA0750-R01-R定位平台/电动XY平台
KOHZU神津精机SXA0750-R01-R定位平台/电动XY平台
KOHZU神津精机SXA0750-R01-R定位平台/电动XY平台
型号SXA0750-R01
反向型号SXA0750-R01-R
台面尺寸75mm×100mm
导轨方式精密十字滚柱导轨
移动范围±25mm
传动方式滚珠丝杆、螺距 1.0mm分辨率 整步/半步1μm/0.5μm分辨率 微步(1/20分割)0.05μm
最高速度10mm/sec (Half 20kpps)
累积误差≦ 12μm/50mm
重复定位精度≦±0.3μm
空程≦ 1.0μm
水平直线度≦ 1.5μm/50mm
垂直直线度≦ 1.5μm/50mm
背隙≦ 0.2μm
刚度0.045 arcsec/N・cm
水平承载能力196N (20kgf)
主要材料铝合金外观
白色表面氧化处理
自重0.95kg
ELECOM宜丽客EHC-G08PA4-JW交换机181/0560/8873