FUJIKIN 富士金金属隔膜阀FPR-NSD-721-6.35-316LP杨:181-0560-8753
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FUJIKIN 富士金金属隔膜阀FPR-NSD-721-6.35-316LP杨:181-0560-8753
产品特点
全金属隔膜密封,零死区,阀座泄漏极低,外部泄漏≤5×10⁻¹² Pa・m³/s,适合超高纯特种气体管路;
高压规格,最高耐压 20.5MPa,是富士金 NEW MEGA 系列高压款,用于高压硅烷、磷化氢、氢气等危险高纯气体;
全禁油洁净处理,半导体标准洁净等级,阀体内部 EP 抛光,颗粒析出极低;
驱动方式为气动(常闭 NC),驱动气源 0.4~0.6MPa;
膜片材质为 Elgiloy 镍钴合金,耐腐蚀性、抗疲劳性强;阀座密封 PCTFE;
连接方式:金属垫片密封 UJR 接头,兼容 UJR、UPG、F900 自动焊管路系统;
直角 90° 布局,节省柜内安装空间,高纯气路盘柜常用。
基础规格
通径:6.35mm(1/4" OD)
Cv 值:0.1
最高使用压力:20.5MPa(40℃)
使用温度:-10℃ ~ +40℃
阀体材质:SUS316LP(二次熔炼 EP 电解抛光)
隔膜片:Elgiloy 镍钴合金
驱动气源:0.4~0.6 MPa
泄漏标准:阀座无泄漏,外漏<5×10⁻¹² Pa・m³/sec
清洁规格:完全禁油
连接:UJR 金属面密封接头
IKEUCHI池内1/8MYYP07PVC-IN扇形喷嘴