IWAKI易威奇PDS-105R光刻胶点胶泵156/5513/4803
IWAKI易威奇PDS-105R光刻胶点胶泵156/5513/4803
IWAKI易威奇PDS-105R光刻胶点胶泵156/5513/4803
解决半导体和液晶领域所需的问题
粒子
化学转移过程中颗粒产生低的结构。 它有助于实现超清洁的制造过程。
污染
高流量泵提高了从晶圆表面去除金属和有机污染物的效率。
高温液体输送
最高耐用液体温度为 180 度。 CARO(SPM)H3PO4等需要高温液体转移的化学品。
高压输送
供应气压,泵压力可达0.7MPa。 适用于需要高压计量的各种工艺。
耐久性
中心的波纹管由成熟的 R 形波纹管制成。 可承受高压点胶,使用寿命长。
减少停机时间
易于维护的结构无需定期拧紧双头螺栓。 减少停机时间。
IWAKI易威奇PH-50-R水质计控制器156-5513-4803