KASHIYAMA樫山工业SDX600立式干真空泵156-5513-4803
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KASHIYAMA樫山工业SDX600立式干真空泵156-5513-4803
电源电压 (50/60Hz)三相AC200~220V
功耗 [kW]1.5
强(过程耐受性)
除了独创形状的螺杆外,新的加热器系统进一步强化了工艺耐性,特殊材料的高耐腐蚀性和丰富的温度
变化,实现了广泛的工艺响应
小型(小型化)
在20000升/分钟的水平上,与本公司相比减少35%的脚印。
安全性(安全性)
符合SEMI/CE/NRTL各项标准的高可靠性设计
KASHIYAMA樫山工业NeoDry15G风冷干式真空泵156/5513/4803