ULVAC爱发科真空泵RDA-281H/RDA-281HA详询;18105608873
ULVAC爱发科真空泵RDA-281H/RDA-281HA详询;18105608873
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六级/带恒温器
特点
达到与干式和油式旋转泵相当的性能。
它可以在从大气压到大气压的所有压力区运行。
对水蒸气有很强的抵抗力。
不需要冷却水。
支持一种型号的单相/三相电源。
使用寿命长,无需滑动部件。
应用程序
分析设备。
气体回收系统。
涂层设备。
TMP的后泵。
氦泄漏探测器。
半导体制造工艺。



ULVAC爱发科真空泵RS系列RS-01/RS-02/RS-03