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销售SIMCO-ION思美高5635-1300电离棒156/5513/4803

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简介

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产品详情

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Simco-Ion, Technology Group 的 AeroBar 5635 调制脉冲电离棒专门设计用于消除半导体和其他超清洁制造工艺中的静电荷,这些工艺需要快速放电时间、低摆幅电压和精密平衡。5635 型采用 MP 技术,将高频正弦波与调制脉冲 (MP) 相结合,实现高离子输出和输送。这项突破性技术使 AeroBar 能够安装在晶圆 150 毫米以内。MP 技术与超净硅发射点和精确调节相结合,可提供 ISO 14644-12 电离(0.01 μm 颗粒或纳米颗粒)和 ISO 14644 1 类(0.1 μm 颗粒)清洁度,这对于较小的技术节点至关重要。

销售SIMCO-ION思美高AerostatPC2离子风扇156-5513-4803
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日本YHK薮内工业离子洁净箱SE-04P联系15655134803
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