ULVAC爱发科低温泵低温泵CRYO-U8HSP详询;18105608873
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特长
适用于溅射工艺。
アルゴンの排気量は従来機種(U8H)の約2.5倍。
氢气的排气速度比现有机型(U8H)提高了约1.2倍。
再生之前的间隔时间变长,有助于提高装置的利用率。
可以多机运行(最多3台)。



ULVAC爱发科低温泵CRYO-U6H