KASHIYAMA樫山真空泵SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600详询;18105608873
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适用于大尺寸晶圆和FPD
通过组合提供大容量。也可按需提供大于
150kL/分钟的容量。
更短的循环时间
在大气压下具有大容量,可以实现高速泵送,在大型L/L腔室中效果最佳。


KASHIYAMA樫山真空泵MU100XE/MU180X/MU300XE/MU600XE/MU1200XE