德国PFELFFER普发涡轮分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M详询:18105608873
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静音:低噪音和振动水平,非常适合半导体制造工艺和分析仪器中对振动敏感的应用
灵活:与多种前级泵兼容,MT 型号带集成加热系统,可满足要求严苛的化学条件,变频直流(DC)电机
几乎免维护:MT 型号采用磁悬浮轴承,无磨损部件,减少颗粒污染或残留物积聚
转速;31000 rpm
可调转速;15000 rmp 至标称转速
从开始启动到达到最终转速的 90% 所需要的时间,排放压力 < 0.1 mbar < 8 最小
调节器电源;200-240 V,50/60 Hz 单相
启动时的最大功耗;1000 W
额定功率(待机功率);130 - 380 W
最高加热温度;75 °C
最高烘烤温度:120 °C
推荐冷却水流量;60 l/h
冷却水温度;15 - 40 °C
遥控器类型;Magpower
推荐前级泵:ADP/ADS
声压级(ISO 2151)(在额定转速下,距离设备 1 米处测量) < 47 dB(A)
额定转速下的振动水平:< 0.01 μm
尺寸(Ø x H):312 x 354.1-398.1* mm
尺寸(Ø):310 mm
重量(约):60 kg
调节器重量(约):8.7 kg
进气口:DN 200、DN 250
排气口;DN 40 ISO-KF
N₂ 吹扫法兰;DN 16 ISO-KF
不锈钢进气滤网(出厂设定) 是
允许的磁场强度(径向值)(在距离设备 10 厘米处) < 12 mT < 12 mT
机载控制器控制选项 Profibus,远程

德国PFELFFER普发涡轮分子真空泵ATH 1600 MT/1603 M