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型号: SIMCO思美高_5635 (M)调制脉冲洁净环境使用离子棒 洁净度 型号 5635 MP 离子棒的设计是使用在 ISO 14644-1 Class 1 洁净度的环境 (每立方米少过 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微粒)。如把输出功率设在 45-50% 和使用 OpenJet 风嘴和单 晶硅静电针,它可兼容 ISO 14644-12 洁净度 (每立方米少过1200 粒 @ ≥0.01 micron 的微粒)。
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