ULVAC爱发科低温泵CRYO-U4H合肥栗山胡181-0560-8873
ULVAC爱发科低温泵CRYO-U4H合肥栗山胡181-0560-8873
ULVAC爱发科低温泵CRYO-U4H合肥栗山胡181-0560-8873
特长
4型低温泵具有最佳的排气特性。
高的排气速度有助于提高排气效率和生产力。
特别适用于半导体制造设备的溅射工艺和小型设备。
一台压缩机可以驱动四台泵。
可以根据您的用途进行设计、制作。
排气速度(20℃): 450
水素:500
氩气体;370
水;1,100
到達圧力 10 -7
最大流量 氩气体 Pa・L/s 1.3×10 3
排気容量 氩气体 Pa・L 1.0×10 7
水素 1.5×10 5
冷却降下時間 min(50/60Hz) 45/50
质量 公斤 14.5


FLON针阀NR0022-003合肥栗山胡181-0560-8873