SIMCO-ION思美高离子风枪Simco-lon AirForce
SIMCO-ION思美高离子风枪Simco-lon AirForce
SIMCO-ION思美高离子风枪Simco-lon AirForce
SIMCO-ION 5635 AeroBar MP 是专为半导体等超洁净制程设计的调制脉冲离子棒,采用 MP 技术,满足 ISO 14644-1 Class 1 与 ISO 14644-12 纳米级洁净度,适配 150–1000 mm 安装距离,24 VDC 供电,最大 13.5 kV p-p 输出,适合晶圆 / 光刻 / 先进封装等静电敏感场景
| 项目 | 参数详情 |
|---|---|
| 输入电压 | 24 VDC ±10% |
| 输出电压 | 13.5 kV p-p(最大),可调 |
| 工作距离 | 150–1000 mm(依应用与客户规格) |
| 调制频率 | 1–33 Hz,默认 5 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡,典型<±10 V(600 mm 处) |
| 发射极 | 单晶硅,ISO 14644-1 Class 1technology... |
| 洁净等级 | ISO 14644-1 Class 1(0.1 μm);ISO 14644-12(10 nm 颗粒)technology... |
| 吹扫气体 | 洁净干燥空气 / 氮气,最大 310 kPa |
| 臭氧含量 | <0.05 ppm(24 小时累计) |
| 报警输出 | 开路集电极信号 |
| 物理尺寸 | 高 78 mm× 深 34 mm;长度 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900 mm 等 |
| 工作温度 | 10–40℃;湿度 30%–60% RH(非冷凝) |
| 认证 | CE、SEMI S2/S8 兼容 |
半导体:晶圆传送、光刻、蚀刻、沉积、封装测试。
显示:OLED/LCD 面板制造、光刻掩模 / 光罩。
超洁净:医疗精密器件、航空电子、纳米材料加工。
SIMCO-ION思美高离子棒5635杨:181-0560-8753