SIMCO-ION思美高静电消除器QUADBAR4630
SIMCO-ION思美高静电消除器QUADBAR4630
SIMCO-ION思美高静电消除器QUADBAR4630
SIMCO-ION QUADBAR 4630 是面向半导体 / 电子制程腔室的紧凑型四极离子发生器,采用 IsoStat 技术,24V 供电,适配狭小空间近距除静电,洁净度 ISO 14644-1 Class 4,离子平衡 ±30V,消散时间<1s,兼容 4030 控制器实现多台联动。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | 4630(需配 4030 控制器) |
| 技术 | IsoStat 四极电晕,无高压电缆 |
| 输入 | 24 VDC/24 VAC,低功耗 |
| 工作距离 | ≤76 mm(3 英寸),近距高效 |
| 离子平衡 | ±30 V(典型) |
| 消散时间 | <1 s(1000→100 V,76 mm) |
| 发射极 | 单晶硅,可快速更换 |
| 洁净等级 | ISO 14644-1 Class 4 |
| 臭氧 | <0.05 ppm(24 小时累计) |
| 接口 | M8/M12,支持报警输出 |
| 尺寸 | 紧凑设计,适配设备狭缝 |
| 重量 | 约 150 g(不含电缆) |
半导体:腔室、晶圆传送、光刻 / 蚀刻 / 沉积近距除静电。
电子:FPD 面板、光罩 / 掩模、精密组件装配。
医疗:植入器械、光学镜头洁净制程。
SIMCO-ION思美高离子风枪Simco-lon AirForce杨:181-0560-8753