ULVAC爱发科真空泵油/润滑油R-72合肥栗山胡181-0560-8873
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種別石油系鉱物油
外観淡黄色透明
動粘度(40℃)68.0 mm²/s
粘度指数132
密度(15℃)0.88 g/cm³
引火点(COC)274℃以上
流動点-25.0℃以下
水分0.01% 以下
到達真空度(参考)<4.0×10⁻¹ Pa
主な用途
半導体・FPD 製造装置の真空排気システム
真空乾燥、真空蒸着、真空焼結などの産業プロセス
化学・医薬品製造における水蒸気を含む真空プロセス
研究開発用大型真空チャンバ、分析装置
食品包装、真空成形機などの産業用真空機器

