全新原装IHARA气动金属隔膜阀DVF-4VM-NC-EP-C-B
全新原装IHARA气动金属隔膜阀DVF-4VM-NC-EP-C-B
全新原装IHARA气动金属隔膜阀DVF-4VM-NC-EP-C-B
公称通径:1/4"
工作压力:真空~1.0MPa
使用温度:-10℃ ~ +80℃
流量系数 Cv:0.3
阀体材质:SUS316L 不锈钢
阀座密封:PCTFE
驱动形式:气动单作用(弹簧复位)
气密性:外漏≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s,超高真空级别泄漏量
接液处理:接液部精密脱脂清洗、洁净室装配
使用寿命:≥200 万次开关动作
金属隔膜零外泄结构
金属膜片隔离介质与驱动气缸,杜绝普通橡胶阀析出有机物,适配超高纯特种气体。
紧凑型轻量化设计
一体式 VTF 接头阀体,占用机柜配管空间更小,便于多路阀阀岛排布。
EP 电解抛光内壁
内壁光洁度高,不易吸附颗粒,半导体、晶圆、锂电制程洁净管路标配。
耐腐长寿命
钴镍合金隔膜抗疲劳、耐酸碱、耐特种介质,频繁启闭稳定性强。
自带安装支架
后缀 B 预装固定支架,直接锁板安装,无需额外加工固定件。
半导体、光伏设备高纯氮气、氩气、工艺气体通断控制
真空管路、微量腐蚀性气体切断
锂电、新能源流体洁净管路
实验室气相色谱、精密分析仪器气路切换
KOGANEI小金井耦合式无杆气缸MRGH10×150杨:181-0560-8753