全新原装IHARA气动金属隔膜阀DVF-4VF-SC-EP-C-B
全新原装IHARA气动金属隔膜阀DVF-4VF-SC-EP-C-B
通径:1/4"
阀体材质:SUS316L 不锈钢
阀座密封:PCTFE
工作压力:真空~1.0 MPa
使用温度:-10℃~80℃
泄漏等级:超高真空级微量外泄
驱动方式:单作用气动弹簧复位
Cv 值:0.3
出厂:超洁净脱脂清洗、无尘装配
| 型号 | 接口 | 开关形式 |
|---|---|---|
| DVF-4VM-NC-EP-C-B | VTF 外牙 VM | NC 常闭(通气开、断气关) |
| DVF-4VF-SC-EP-C-B | VTF 内牙 VF | SC 常开(通气关、断气开) |
金属隔膜结构,介质与驱动腔完全隔离,无有机物析出,适配超高纯氮气、氩气、腐蚀性工艺气体
EP 电解抛光内壁,不易积尘吸附颗粒,半导体洁净管路标配
体积小巧,适合阀岛多路集成排布
金属膜片抗疲劳,开关寿命长,密封性稳定