ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS系列LS120A/LS300A/LS600A详询:18105608873
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高泵送速度和低功耗的干式真空泵。
型号:LS可根据应用从4种不同的泵送速度(120-1200m3/h)中选择。
特点
高泵送速度
在近大气压下泵送速度高,泵送停机时间可大大缩短
低功耗
ECO-SHOCK技术实现低功耗。(C型)
极限压力下的功耗为业界领先的0.6kW或更低。(LS120A-C)
内置消声器可达到 61dB(A)或更低的噪声水平。
低运行成本
没有轴封气。
清洁气体可选L型。
泵送速度120~1200m3/h 类别*带机械助力泵
可根据应用选择最佳模型
应用程序
C类型:清洁工艺(LS***A-C)
特点:低功耗模式(内置ECO-SHOCK)
应用:用于清洁工艺,如空气和N2 G14溅射/气相沉积/
层压/负载锁定室/TMP背泵等。
L型:轻工艺(LS***A-L)
特点:光工艺模式(具有表面处理和净化功能)
用途:用于蒸汽和挥发性液体药品等轻工过程/真空干燥/
冷冻干燥/灰化/一般工业用途等。




ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS/MS120A/MS600A/MS1200A