ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200详询:18105608873
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高温分布的均匀性。CVD和蚀刻工艺产生的升华物可以气态排出。
特点
均匀高温分布泵
这个 “ 型号:HR ” 泵被设计用于需要加热泵、加热气体管道和/或加热排气管道的应用程序,以保持均匀的高温
这个 “ 型号:UR ” 泵能够保持比 “型号: 人力资源 " .
出色的氦泵能力
罐装电机,安全且易于维护
断电保护
泵可承受长达1000毫秒的电源中断。
优越的耐腐蚀性气体性能:
内部部件经过特殊处理,具有高度的表面硬度和耐腐蚀性。这可以防止内部泵部件在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。
通讯功能:
可以导出泵数据,包括警告和警报。可进行广泛的泵控制。
应用程序
CVD设备
蚀刻设备
灰化设备
ALD、ALH等


ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵LS系列LS120A/LS300A/LS600A