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ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200

ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200

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简介

ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200详询:18105608873ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200详询:18105608873ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200详询:18105608873高温分布的均匀性。CVD和蚀刻工艺产生的升华物可以…

产品详情

ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200详询:18105608873

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ULVAC爱发科真空泵HR系列HR60/HR90/HR300/HR600/HR1200详询:18105608873

高温分布的均匀性。CVD和蚀刻工艺产生的升华物可以气态排出。

特点

均匀高温分布泵

这个 “ 型号:HR ” 泵被设计用于需要加热泵、加热气体管道和/或加热排气管道的应用程序,以保持均匀的高温

这个 “ 型号:UR ” 泵能够保持比 “型号: 人力资源 " .

出色的氦泵能力

罐装电机,安全且易于维护

断电保护

泵可承受长达1000毫秒的电源中断。

优越的耐腐蚀性气体性能:

内部部件经过特殊处理,具有高度的表面硬度和耐腐蚀性。这可以防止内部泵部件在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。

通讯功能:

可以导出泵数据,包括警告和警报。可进行广泛的泵控制。

应用程序

CVD设备

蚀刻设备

灰化设备

ALD、ALH等



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