工控传动电子元器件类 ULVAC爱发科真空泵LR系列LR60/LR90/LR180/LR421/LR421-T

ULVAC爱发科真空泵LR系列LR60/LR90/LR180/LR421/LR421-T

货号:

库存: 电询

品牌:

¥0.00

简介

ULVAC爱发科真空泵LR系列LR60/LR90/LR180/LR421/LR421-T详询：18105608873ULVAC爱发科真空泵LR系列LR60/LR90/LR180/LR421/LR421-T详询：18105608873ULVAC爱发科真空泵LR系列LR60/LR90/LR180/LR421/LR421-T详询：18105608873低温分布的均匀性。除了PVD工艺外，LL室排空的最…

分类: 工控传动电子元器件类,

产品详情

ULVAC爱发科真空泵LR系列LR60/LR90/LR180/LR421/LR421-T详询：18105608873

低温分布的均匀性。除了PVD工艺外，LL室排空的最佳泵也是如此，在PVD工艺中，减少排气时间对提高吞吐量非常重要。

特点

低温泵（型号:LR）

'The "Model: LR " 泵旨在缩短负载锁、PVD工艺等的泵送时间。

出色的氦泵能力

罐装电机，安全且易于维护

断电保护

泵可承受长达500毫秒的电源中断。

优异的耐腐蚀性气体性能（型号:HR/UR）